На недавнем «SSLCHINA 2021: Mini/Micro LED Technology Industry Application Forum» Ху Цзяньчжэн, директор MOCVD Process Technology of China Micro Semiconductor Equipment (Shanghai) Co., Ltd., поделился оборудованием Prismo UniMax® MOCVD, используемым для производства синего и зеленого MiniLED компанией China Micro Semiconductors (Shanghai) Co., Ltd. Последние разработки.
Ху Цзяньчжэн представил, что по сравнению с традиционными светодиодами, используемыми для освещения, мини/микро светодиодные эпитаксиальные пластины имеют более строгие требования к однородности длин волн и количеству частиц. Необходимо разработать новую платформу MOCVD для улучшения однородности длин волн эпитаксиальных пластин и уменьшения частиц. Количество, чтобы реализовать коммерческое применение Mini / Micro LED.
Новейшая платформа MOCVD Prismo UniMax®, разработанная China Microelectronics, которая может быть использована для массового производства MiniLED, благодаря тонкой регулировке локального температурного поля и оптимизации поля потока, сине-зеленые светодиоды, выращенные на 4" и 6" подложках, достигли хороших результатов. При условии конфигурации 41×4" равномерность длины волны внутри и между голубыми светодиодными чипами также очень высока, соответственно, 0,71 нм и 0,87 нм (1σ); при условии конфигурации 10×6" длина волны синего светодиодного чипа равномерна Производительность достигает 0,84 нм (1σ), а максимальная и минимальная разница в длине волны квадратной пластины 100 мм×100 мм составляет всего 2,4 нм. Для 6-дюймового зеленого светодиода со средней длиной волны 530 нм равномерность длины волны на кристалле составляет 1,04 нм (1σ), а максимальная и минимальная разница в длине волны квадратного чипа 100 мм×100 мм составляет всего 4,6 нм.
Согласно официальному сайту China Microelectronics, с точки зрения конфигурации оборудование Prismo UniMax® MOCVD имеет до 4 реакционных камер, которые могут одновременно обрабатывать 108 4-дюймовых или 40 6-дюймовых высокопроизводительных сине-зеленых эпитаксиальных пластин MiniLED на основе нитрида галлия. Регулировка может быть расширена для одновременной обработки 164 4-дюймовых или 72 6-дюймовых эпитаксиальных пластин, а ее технологические возможности также могут быть расширены для выращивания 8-дюймовых эпитаксиальных пластин. Кроме того, оборудование оснащено графитовым лотком большого диаметра 785 мм, что значительно улучшает производственные мощности оборудования и эффективно снижает себестоимость производства эпитаксиальных пластин MiniLED.
Сообщается, что оборудование Prismo UniMax® MOCVD было официально выпущено в июне этого года и в основном используется для массового производства эпитаксиальных пластин MiniLED на основе GaN. 9 декабря China Microelectronics объявила, что заказ на оборудование Prismo UniMax® MOCVD превысил 100 полостей.
Понятно, что China Micro Semiconductor Equipment Co., Ltd. была основана в 2004 году и имеет штаб-квартиру в Шанхае. В 2019 году она была зарегистрирована в Совете по инновациям в области науки и техники Шанхайской фондовой биржи. В основном занимается исследованиями и разработками, производством и продажей высококачественного полупроводникового оборудования и панполупроводникового оборудования. Дистрибуция продукции компании: оборудование для травления CCP, оборудование для травления ICP, оборудование для глубокого травления кремния, оборудование для MOCVD, оборудование для очистки ЛОС.
Среди них оборудование серии Prismo MOCVD, разработанное China Microelectronics, может широко использоваться в производстве различных устройств на основе нитридов III группы, включая сине-зеленые светодиоды, глубокие ультрафиолетовые светодиоды и силовые устройства. В настоящее время оборудование MOCVD компании China Micro запущено в серийное производство на основных линиях по производству светодиодов в отрасли.
В 2020 году China Microelectronics достигла операционного дохода в размере 2,273 млрд юаней, увеличившись в годовом исчислении на 16,76%; чистая прибыль, относящаяся к акционерам листинговых компаний, составила 492 млн юаней, увеличившись в годовом исчислении на 161,02%. В первой половине 2021 года операционная прибыль China Micro составила 1,339 млрд юаней, увеличившись в годовом исчислении на 36,82%; чистая прибыль, относящаяся к акционерам листинговых компаний, составила 397 млн юаней, увеличившись в годовом исчислении на 233,17%.
